DVIA-U模块化主动隔振平台

DVIA-U系列
主动隔振底座和桌面平台

经济有效
DIVA-UB，主动隔振基座平台设计用于以最经济有效的方式将扫描电子显微镜与地面振动隔离。

符合人体工程学的办公桌服务各种应用

DIVA-UD主动隔振台平台设计用于将超精密仪器与低频振动隔离。人体工程学设计使用户可以舒适地执行要求最苛刻的应用。另外，桌子支架底部安装脚轮和调平脚，使用户可以将桌子放在所需的位置。

没有空气

DVIA-U系列不需要气源来操作系统。隔离器单元中的强力金属弹簧不仅支撑重型有效载荷，还为高频振动提供出色的被动隔振。

具有高分辨率的纳米成像

如上图所示，如果用户由于振动而遇到模糊的图像，则需要使用带有DVIA-UB的SEM来获得高分辨率的图像。

克服了被动隔振系统的局限性

由于主动隔振系统不具备固有频率，因此主动隔振系统可以降低1-10 Hz的低频振动，其中低频振动会严重干扰纳米级成像。另一方面，无源隔离系统由于其固有频率而放大低频振动。

控制亚赫兹振动
DVIA-U非常有效地将超精密仪器与1-10 Hz的环境振动隔离，振动敏感的精密仪器趋向于不稳定和破坏性，无法产生最佳结果。 DVIA-U在0.6 Hz时开始隔离，在10 Hz时提供±99％的振动隔离。

反馈和前馈算法

DVIA-MB使用反馈控制系统连续检测干扰隔离有效负载基座的振动，并即时作出反应，以实时最小化振动。 DVIA-MB采用前馈系统，以预定义的方式滤除地面振动。

控制所有六个自由度的振动

安装在主动隔振系统中的惯性传感器和VCM执行器通过三个平移运动（X，Y和Z）以及三个旋转运动（俯仰，滚转和偏航）来检测和控制振动。

每个安装地点都有不同的振动级别，表明每个安装地点都需要调整。因此，我们提供现场调试，以有效地利用反馈和前馈控制系统，这是控制1-10 Hz范围振动的关键因素。没有调整，主动隔离系统不能提供最佳的主动隔离性能。

应用领域

扫描电子显微镜、扫描探针显微镜、特高压扫描隧道显微镜、干涉、其他高精度仪器